对于约翰·罗尔瓦根，强烈的既视感 - 彭博社

在1993年10月，约翰·A·罗尔瓦根和格雷戈尔·A·坎贝尔首次握手后不久，两人都感受到了一种特别的联系。“我们真的很合拍，”罗尔瓦根说，他是超级计算机制造商Cray Research Inc.的长期首席执行官。

罗尔瓦根不情愿地从明尼苏达州圣保罗出发，历经2000英里来到加利福尼亚州查茨沃斯，去考察坎贝尔的公司Plasma & Materials Technologies Inc.，并可能加入董事会。罗尔瓦根对这个想法并不热衷。他仍在从他在华盛顿的四个月短暂经历中恢复。克林顿总统曾邀请他担任商务部副部长，这意味着他必须辞去Cray的职务。但当证券交易委员会开始调查Cray的股票交易时，他在政府工作仅四个月就离开了。因此，他决定通过帮助小公司来履行自己的公民责任，包括那些与圣保罗风险投资公司相关的小公司，该公司是PMT专利技术的支持者，该技术用于生成带电气体或等离子体，以将硅晶圆加工成芯片。

当坎贝尔听说罗尔瓦根有空时，他立刻警觉起来。坎贝尔在1980年代中期获得加州大学洛杉矶分校的等离子体物理学博士学位时，迷上了Cray超级计算机。“因为我在创办PMT时对商业一无所知，所以我贪婪地阅读——尤其是一篇分析Cray早期成功的哈佛商业评论文章。”因此，Cray成为了PMT的启动模型。而最好的结果就是让罗尔瓦根加入公司。这也会在PMT准备进行股票发行时，为这样一个小型初创公司增加更多的可信度。

显然，坎贝尔对克雷的模仿比他自己意识到的要成功得多。“PMT让我想起了1970年代的克雷，真是令人毛骨悚然，”罗尔瓦根说。特别是，他看到了PMT独特技术和雄心勃勃的增长战略之间的相似之处。“我被格雷格那种激进的、毫不留情的商业计划所吸引——PMT要么会成为大联盟，要么什么都不是。”

由于他们的第一次会议进行得非常顺利，坎贝尔决定邀请罗尔瓦根担任主席，而不仅仅是董事。罗尔瓦根当场答应了——如果他可以继续住在圣保罗，并每月来加州一两次。“这就像我得到了一个重新体验我挥霍青春的第二次机会——并帮助格雷格避免我犯过的同样错误。”像什么？“那只是个比喻——我从来没有犯过任何错误，”他讽刺地说。“那是我的导师！”坎贝尔说，他曾想通过将超热等离子体塑造成一个比太阳还要明亮的微型星星来超越大自然：一个托卡马克聚变能反应堆。现在，他只想与应用材料公司这样的公司竞争，后者是全球最大的芯片制造设备供应商，去年销售额达20亿美元——是PMT的100倍。

PMT的构想是在1980年代中期激发的，当时坎贝尔读到芯片行业正在努力利用等离子体来刻画“印刷”在硅上的电路线。传统上，这些线路是用液体酸蚀刻的。但湿法蚀刻会侵蚀出V形槽，因此底部足够宽的通道顶部比必要的宽。那意味着芯片的细电路线在宽度缩小到0.35微米或更小的时候，无法像应该的那样紧密打包。现在只有少数芯片制造商达到了这一点。

寻找资本。等离子体可以雕刻出几乎垂直边缘的U形凹槽。带负电的离子从等离子体中降落，被晶圆中的正电荷吸引。十年前在工业界，这是一种新颖的方法。但对聚变研究人员来说，等离子体早已是老生常谈。因此，坎贝尔和他的加州大学洛杉矶分校博士生导师罗伯特·W·康设计了一个超越芯片行业愿望清单规格的系统——并开始寻找风险投资。

他们碰到了壁。“风险投资（VC）的人说我们永远无法进入半导体设备行业，”坎贝尔回忆道。芯片公司根本不愿冒险从一个新兴公司购买如此关键的设备。但日本的供应商反应积极。在1991年底和1992年初，坎贝尔将技术授权给了佳能公司和NEC公司，然后“风险投资者意识到我们抓住了一只老虎的尾巴。”

尽管去年销售额跃升至2130万美元，是1994年销售额的两倍（图表），PMT仍在艰难前行。“他们的技术很好，”市场研究公司Dataquest Inc.的行业分析师卡尔文·Y·张说，“但他们的市场份额微乎其微——不到去年25亿美元蚀刻市场的1%。”

虽然PMT已向东芝、三星和LG半导体等主要芯片制造商销售了高达280万美元的系统，但大多数销售都是一次性交易用于评估。德州仪器公司的开发经理丽贝卡·盖尔表示，她对自己的PMT机器印象深刻，但德州仪器不太可能在确信PMT能够大规模生产并提供全球服务之前购买更多。坎贝尔认为，去年八月首次公开募股获得的4000万美元资金将提供持续的动力——并为与NEC和LG半导体（前身为金星半导体有限公司）共同努力将PMT的技术应用于其他类型的芯片制造设备提供资金。（在上涨至22美元后，股票目前交易价格低于最初的14美元。）

大联盟竞标。与此同时，达拉斯半导体公司是第一家将PMT刻蚀机投入实际生产的公司，已交付其第二台系统——并将在需要时购买更多，副总裁Chao C. Mai表示。但Dataquest的Chang表示，PMT在获得大型芯片制造商的30或40台刻蚀机订单之前不会进入大联盟。即使是小型芯片工厂，通常也有十台或更多的刻蚀机。

如果多台机器的销售不尽快开始，PMT可能会失去其技术优势，芯片观察者VLSI Research Inc.的总裁G. Dan Hutcheson警告说。“他们起初领先，但其他刻蚀公司现在正在赶上。”

Rollwagen知道情况将变得更加艰难。这就是为什么他不断增加他投入PMT的时间——1994年为35%，1995年为50%。Campbell预测：“接下来，我们将让他全职搬到这里。”但首先，PMT需要另外100人来应对预计的销售激增。“这就像Cray一样——我希望如此，”Rollwagen说。“我们在上市时有100人，五年后变成了1000人。”作为公司的股东，Rollwagen的回报可能会超出怀旧。